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凈化工程安裝標準大全(廈門(mén)量典專(zhuān)業(yè)無(wú)塵車(chē)間)
我國凈化工程行業(yè),目前正值推廣階段。近些年來(lái),各大城市主要陸續新建、改建,增設或改造了原有的凈化系統,這是我國經(jīng)濟發(fā)展、科技進(jìn)步和醫療衛生水平提高的反映。新建、改建凈化工程,改善生產(chǎn)環(huán)境,提高工作效率,是一件很慎重的工作。而不論什么行業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量,環(huán)境的潔凈都是越來(lái)越嚴格的,潔凈室凈化工程也將深入各行各業(yè),這是發(fā)展趨勢。目前凈化工程行業(yè)涉及如下:
微電子 日用化妝品 印刷包裝 光學(xué)光電 化學(xué) 生物制藥 醫療器械 潔凈手術(shù)室 航空航天 涂裝涂料 文物庫房
電子行業(yè):精密儀器 手機背光源 芯片生產(chǎn)、集成電路無(wú)塵室 汽車(chē)制造 磁盤(pán)制造車(chē)間等
食品行業(yè):奶制品 果汁 鹽類(lèi) 釀酒廠(chǎng) 肉類(lèi)加工 烘焙面包房 檳榔廠(chǎng) 海鮮 調料包等
日用化妝品行業(yè):紙類(lèi) 護膚品 化妝品 日常洗衣用品等
印刷包裝行業(yè):精密技術(shù)印刷廠(chǎng) 高檔禮品包裝 高檔煙酒、進(jìn)口及高檔轎車(chē)等
光學(xué)光電行業(yè):半導體激光器 led/lcd照明 液晶顯示 led芯片 納米加工 光學(xué)玻璃
紅外傳感器 激光雷達技術(shù) 發(fā)光二極管等 集成電路
化學(xué)行業(yè):實(shí)驗室 鉛酸蓄電池 電容器 無(wú)線(xiàn)充電技術(shù)等 電鍍 塑料化工
生物制藥:制藥廠(chǎng) 無(wú)菌繁殖
醫療器械:醫療設備 手術(shù)室
文物庫房:博物館 文物房
涂裝涂料:納米功能涂料 建筑涂料涂裝 噴涂車(chē)間 家具烤漆房
一、安裝工程標準施工要求
隱蔽工程- - 給排水工藝
潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊纳a(chǎn)工藝對環(huán)境有較高的要求,需要對其生產(chǎn)車(chē)間的空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行控制,同時(shí),還需保證一定的溫度、濕度和壓力,為此,除了合理的工藝布局,恰當的室內裝修,配套的安裝工程設計亦至關(guān)重要,給排水工程設計就是其中一個(gè)重要的環(huán)節,現筆者結合多年藥廠(chǎng)給排水設計及施工現場(chǎng)服務(wù)經(jīng)驗,談?wù)剝艋こ虄鹊慕o排水設計。
1、 系統的布置
為保證生產(chǎn)水質(zhì)不被其它給水系統污染,潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊慕o水系統按照生產(chǎn)、生活、消防等用途不同,應分別設置,其中,生產(chǎn)用水又可按生產(chǎn)線(xiàn)的數量,分別布置,建議每條生產(chǎn)線(xiàn)給水系統的起端均設置檢修閥門(mén)及計量水表,以便檢修和成本核算。 另外,考慮到潔凈廠(chǎng)房中的生產(chǎn)工藝技術(shù)發(fā)展迅速,產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多等特點(diǎn),在管道設計中應留有充分的余量。
2、 管材的選用
潔凈廠(chǎng)房的生產(chǎn)給水管傳統的管材,一般采用鍍鋅鋼管,考慮到潔凈環(huán)境下,所選管材應有較好的化學(xué)穩定性,以保證水質(zhì)在輸送過(guò)程中下降最小;以及管道的內外壁應盡量光潔,管道及管件的接頭處應有較好的平整度,以保證水流有較好的水力性能,以及降低微粒的沉積和微生物的繁殖,建議潔凈廠(chǎng)房給水管材采用聚丙烯(PP)管或不銹鋼管。
排水管材的選擇,應針對排水的水質(zhì)特點(diǎn)選用,一般原則是:在連續排水溫度低于 40℃時(shí),選用聚氯乙烯(UPVC)排水管,該管材具有化學(xué)穩定性強,水力性能好的優(yōu)點(diǎn);在連續排水溫度介于 40~80℃時(shí),建議采用既具有較高耐溫性能,又有較好水力性能及化學(xué)穩定性的璃纖增強聚丙烯排水管;連續排水溫度高于 80℃時(shí),采用排水鑄鐵管,但應注意防腐處理。
3、 管道的敷設
潔凈廠(chǎng)房?jì)裙艿赖姆笤O方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此管道應盡量在潔凈室外
敷設,最大限度地減少潔凈室內的管道,通常是各種給排水干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內或直接地下埋設,特別是有上下夾層的潔凈廠(chǎng)房,給排水干管大都設在下夾層內。對于穿過(guò)潔凈室無(wú)法暗裝的給排水立管及消防栓,應盡量在凈化區墻角處敷設,并應采用彩鋼板包嵌,陰陽(yáng)角均做成圓弧角,以免積灰。為防止潔凈室外未凈化空氣滲入室內,同時(shí)也為了防止潔凈室內的潔凈空氣向外滲漏,造成能量的浪費,甚至影響室內的潔凈度,給排水管道穿過(guò)潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí),應設套管,套管內管段不得有接頭,管道和套管之間必須用不起塵的密封材料封閉。 在實(shí)在無(wú)法做套管的部位,必須采取嚴格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈及環(huán)氧樹(shù)脂冷膠等。
4、衛生設備的設置
手是交叉污染的媒介,工作人員在接觸工作服之前應洗手,洗手的龍頭不應直接用手開(kāi)啟,可采用感應式或肘式洗手龍頭。 洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵,最好的辦法是熱風(fēng)吹干,所以洗手室不但要設置洗手盆,而且還需設置烘手器。潔凈區內設置廁所不僅容易使潔凈室受到污染,還會(huì )影響潔凈區的壓力控制,所以有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區內不宜設廁所。 廁所宜設在盥洗室之前,且廁所應有前室,前室還應設置供人員入廁穿用的套鞋。 廁所內衛生潔具為便于沖洗,還應采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
5、排水設備附件及小型排水構筑物
對于跨度較大的潔凈廠(chǎng)房,其生產(chǎn)排水橫管往往較長(cháng),超過(guò)了規范允許的最大長(cháng)度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設一清掃口,清掃口盡量設在非凈化區,如不能避免要在凈化區設置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。 潔凈室盡量不設地漏,若工藝需要設置,亦盡量少設,且應選用材質(zhì)不易腐蝕,內表面光潔,不易結垢,有密封蓋,開(kāi)啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標高應低于周?chē)孛?5~10mm。
為了防止通風(fēng)系統正常工作時(shí),室內潔凈空氣通過(guò)排水管向外滲漏;而當通風(fēng)系統停止工作時(shí),室外非潔凈空氣向室內倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個(gè)排水點(diǎn)均應設水封裝置,水封深度不得小于 50mm 。 這是維持潔凈室內各項技術(shù)指標的一個(gè)重要措施。為了進(jìn)一步防止這一現象的發(fā)生,同時(shí)也為防蟲(chóng)防鼠,潔凈區排水出戶(hù)管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設水封井。
6、 循環(huán)水系統
為了保護水資源以及降低生產(chǎn)成本,用于生產(chǎn)設備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質(zhì)變化不大,經(jīng)冷卻塔降溫處理后,可重復使用。 需要指出的是,由于循環(huán)冷卻水在循環(huán)過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生蒸發(fā)、 風(fēng)吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直至沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、 腐蝕剝落物及其它雜質(zhì),形成沉積物,為提高設備熱交換率及延長(cháng)設備壽命,循環(huán)冷卻水需進(jìn)行水質(zhì)處理。
二、安裝管理程序
1 無(wú)塵車(chē)間潔凈室施工管理制度
1.1 背景
1.1.1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,在施工中必須遵循行業(yè)規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。 為了保證項目的成功, 現場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。
1.1.2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠(chǎng)房?jì)鹊牡胤健?br />
1.1.3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠(chǎng)房?jì)鹊木植扛脑旌蛿U建,后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進(jìn)行管理。
1.2 責任與義務(wù)
1.2.1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序,并且在他們疏于遵從或違反時(shí)給予培訓和訓練。 被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設規則和程序。
1.2.2 承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進(jìn)行檢查,并填寫(xiě)檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品,例如:鞋套,毛巾,墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。
1.2.3 承包商建造區域入口并對其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。 他將對在潔凈區域工作的人員進(jìn)行培訓, 并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。
1.2.4 開(kāi)始階段,承包商應在每個(gè)入口處安排人員(除非半導體公司在該入口處安排有人員)以確保本規則和程序的執行。
1.2.5 重復違反規則和程序的人員將被開(kāi)除。沒(méi)有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。
三、設備安裝
凈化設備
1、風(fēng)淋室
風(fēng)淋室是現代工業(yè)潔凈廠(chǎng)房中必不可少的潔凈配套設備, 它能去除人和物表面的塵埃, 同時(shí)又對風(fēng)淋室兩側的潔凈區和非潔凈區起到了緩沖與隔離的作用。該設備廣泛應用于食品、 醫藥、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為“普通型和聯(lián)鎖型”兩類(lèi):普通型采用手動(dòng)啟動(dòng)吹淋的控制方式,個(gè)別操作者會(huì )選擇“不經(jīng)過(guò)吹淋就離開(kāi)”的逃避方式。這使得潔凈區的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會(huì )影響到產(chǎn)品質(zhì)量。潔凈室內,在動(dòng)態(tài)情況下,細菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者, 當操作者進(jìn)入潔凈室之前, 必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著(zhù)的塵埃顆粒
2、高效送風(fēng)口
本產(chǎn)品為萬(wàn)級,十萬(wàn)級亂流潔凈室新建,改建工程凈化空調系統終端送風(fēng)裝置??蓮V泛應用與電子工業(yè),精密機械,冶金,化工等工業(yè)及醫療,制藥,食品等部門(mén)的凈化空調系統。 本裝置主要由靜壓箱,高效過(guò)濾器,鋁合金擴散板,標準法蘭接口等組成,造型美觀(guān),結構簡(jiǎn)單,使用可靠。 本送風(fēng)口為下裝式,具有在潔凈室內安裝和更換過(guò)濾器方便的優(yōu)點(diǎn),高效過(guò)濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置,確保風(fēng)口安裝無(wú)泄露,密封可靠,凈化效果好
3、傳遞窗
傳遞窗主要適用于潔凈區與非潔凈區之間, 或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞, 可有效的減少潔凈室門(mén)的開(kāi)啟次數,把潔凈區的污染減少的最低程度。根據使用要求,傳遞窗箱體表面可噴塑,內膽可用不銹鋼,外表美。
4、潔凈工作臺
無(wú)塵車(chē)間內的潔凈工作臺可根據產(chǎn)品要求或其他用途的要求, 在操作臺上保持高潔凈度的局部?jì)艋?。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無(wú)菌、無(wú)塵的局部?jì)艋?,其主要組成部件有預過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、風(fēng)機機組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無(wú)塵車(chē)間的潔凈工作臺的構造要求:臺面,采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面,或采用不銹鋼做臺面; 箱體, 用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形, 可采用冷軋薄板折邊搭接, 大電流電焊,內表面需粘貼消聲材料,最大尺寸應以通過(guò)一般房門(mén)為宜;箱體密封,所有縫隙均采用密封膠密封;操作區截面應盡可能與空氣過(guò)濾器送風(fēng)截面相同,盡量減少盲區;風(fēng)機、電機, 選用高壓低噪的小型風(fēng)機,風(fēng)機與箱體的連接采用軟連接,電機及風(fēng)機均應采取減振措施; 燈罩,日光燈要盡量設置在燈罩內,燈罩內要通過(guò)潔凈氣流;預過(guò)濾器,須設置預過(guò)濾器, 容量要大,在使用風(fēng)量下,初阻力宜小于 50Pa;高效過(guò)濾器,盡量采用大面積的過(guò)濾器,減少空氣過(guò)濾器的數量,過(guò)濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環(huán)密封系統。
5、FFU 風(fēng)機過(guò)濾單元
FFU 為英文縮寫(xiě),全稱(chēng)為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機濾器單元(機組)”,也稱(chēng)空氣過(guò)濾單元。 風(fēng)機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng)初、 高效過(guò)濾器過(guò)濾, 它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、 微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。 各凈化工程企業(yè)的 FFU 執行標準略有不同,業(yè)內通行的指標為:過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以 0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出,但穩定性差距很大。經(jīng)過(guò)實(shí)地檢測,國際品牌普遍難以適應“中國環(huán)境因素”, 質(zhì)量雖然普遍高于國產(chǎn)公司, 但 1 年后的穩定性測試普遍不理想; 而大部分國內低端品牌的工程質(zhì)量也較差強人意。 凈化工程行業(yè)開(kāi)始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩定性的雙向驗收標準, 并逐步以實(shí)地檢測數據(之前多依靠行業(yè)報告)更真實(shí)的體現工程性?xún)r(jià)比.
6、層流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風(fēng)機,初效空氣過(guò)濾器,高效空氣過(guò)濾器。阻尼層,燈具等組成,箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產(chǎn)品即可以懸掛,又可地面支撐,結構緊湊,使用方便??梢詥蝹€(gè)使用,也可多個(gè)聯(lián)接組成帶狀潔凈區域。
四、安裝地面工程
地面工程
1》PVC 地板
施工工藝:
1、清理地面,清除浮沉,定位鋪設基準線(xiàn)
2、鋪拉接地倒網(wǎng)(銅箔),涂刷導電膠
3、 鋪貼 PVC 地板,滾壓 PVC 地板
4、開(kāi) 4mm 靜電接地.適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),半導體廠(chǎng),光電產(chǎn)業(yè),包裝品,機電房、汽車(chē)工業(yè)等 02 防靜電 PVC 地板 。
2》 高架地板
施工工藝:
1、在清潔的地面上劃線(xiàn)
2、支架橫梁裝配
3、調整橫梁水平、緊固螺釘
4、 鋪設活動(dòng)地板
5、 施工完畢后清掃地板表面
適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),半導體廠(chǎng),光電產(chǎn)業(yè),機電房.恒溫恒室實(shí)驗室,百級無(wú)塵車(chē)間潔凈廠(chǎng)房等
3》 環(huán)氧樹(shù)脂自流平型地流
施工工藝:
1、打磨地面.清掃、吸塵
2、涂刷封閉底涂
3、刮膩子(中涂)
4、打磨、吸塵
5、自流平面
適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),電器廠(chǎng),食品廠(chǎng),化妝品廠(chǎng),包裝廠(chǎng),紡織廠(chǎng),服裝廠(chǎng)等
4》 環(huán)氧樹(shù)脂防靜電自流平型
施工工藝:
1. 基材處理:打磨并清潔地面,要求基材干燥、無(wú)空鼓;
2.底涂涂裝:導電底涂涂裝;
3. 鋪設銅箔:橫豎交叉鋪設;
4、中涂涂裝:根據所落地面厚度鑷防靜電中涂;
5、面涂涂裝:鑊圖環(huán)氛防靜電自流平面漆。
適用場(chǎng)所: 適用于通訊設備制造廠(chǎng)、芯片制造廠(chǎng)、S 下 M 車(chē)間、光學(xué)儀器廠(chǎng)、實(shí)驗室等有較高防靜電要求的潔凈廠(chǎng)房。
微電子 日用化妝品 印刷包裝 光學(xué)光電 化學(xué) 生物制藥 醫療器械 潔凈手術(shù)室 航空航天 涂裝涂料 文物庫房
電子行業(yè):精密儀器 手機背光源 芯片生產(chǎn)、集成電路無(wú)塵室 汽車(chē)制造 磁盤(pán)制造車(chē)間等
食品行業(yè):奶制品 果汁 鹽類(lèi) 釀酒廠(chǎng) 肉類(lèi)加工 烘焙面包房 檳榔廠(chǎng) 海鮮 調料包等
日用化妝品行業(yè):紙類(lèi) 護膚品 化妝品 日常洗衣用品等
印刷包裝行業(yè):精密技術(shù)印刷廠(chǎng) 高檔禮品包裝 高檔煙酒、進(jìn)口及高檔轎車(chē)等
光學(xué)光電行業(yè):半導體激光器 led/lcd照明 液晶顯示 led芯片 納米加工 光學(xué)玻璃
紅外傳感器 激光雷達技術(shù) 發(fā)光二極管等 集成電路
化學(xué)行業(yè):實(shí)驗室 鉛酸蓄電池 電容器 無(wú)線(xiàn)充電技術(shù)等 電鍍 塑料化工
生物制藥:制藥廠(chǎng) 無(wú)菌繁殖
醫療器械:醫療設備 手術(shù)室
文物庫房:博物館 文物房
涂裝涂料:納米功能涂料 建筑涂料涂裝 噴涂車(chē)間 家具烤漆房
一、安裝工程標準施工要求
隱蔽工程- - 給排水工藝
潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊纳a(chǎn)工藝對環(huán)境有較高的要求,需要對其生產(chǎn)車(chē)間的空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行控制,同時(shí),還需保證一定的溫度、濕度和壓力,為此,除了合理的工藝布局,恰當的室內裝修,配套的安裝工程設計亦至關(guān)重要,給排水工程設計就是其中一個(gè)重要的環(huán)節,現筆者結合多年藥廠(chǎng)給排水設計及施工現場(chǎng)服務(wù)經(jīng)驗,談?wù)剝艋こ虄鹊慕o排水設計。
1、 系統的布置
為保證生產(chǎn)水質(zhì)不被其它給水系統污染,潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊慕o水系統按照生產(chǎn)、生活、消防等用途不同,應分別設置,其中,生產(chǎn)用水又可按生產(chǎn)線(xiàn)的數量,分別布置,建議每條生產(chǎn)線(xiàn)給水系統的起端均設置檢修閥門(mén)及計量水表,以便檢修和成本核算。 另外,考慮到潔凈廠(chǎng)房中的生產(chǎn)工藝技術(shù)發(fā)展迅速,產(chǎn)品升級換代快,生產(chǎn)工藝變化多等特點(diǎn),在管道設計中應留有充分的余量。
2、 管材的選用
潔凈廠(chǎng)房的生產(chǎn)給水管傳統的管材,一般采用鍍鋅鋼管,考慮到潔凈環(huán)境下,所選管材應有較好的化學(xué)穩定性,以保證水質(zhì)在輸送過(guò)程中下降最小;以及管道的內外壁應盡量光潔,管道及管件的接頭處應有較好的平整度,以保證水流有較好的水力性能,以及降低微粒的沉積和微生物的繁殖,建議潔凈廠(chǎng)房給水管材采用聚丙烯(PP)管或不銹鋼管。
排水管材的選擇,應針對排水的水質(zhì)特點(diǎn)選用,一般原則是:在連續排水溫度低于 40℃時(shí),選用聚氯乙烯(UPVC)排水管,該管材具有化學(xué)穩定性強,水力性能好的優(yōu)點(diǎn);在連續排水溫度介于 40~80℃時(shí),建議采用既具有較高耐溫性能,又有較好水力性能及化學(xué)穩定性的璃纖增強聚丙烯排水管;連續排水溫度高于 80℃時(shí),采用排水鑄鐵管,但應注意防腐處理。
3、 管道的敷設
潔凈廠(chǎng)房?jì)裙艿赖姆笤O方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此管道應盡量在潔凈室外
敷設,最大限度地減少潔凈室內的管道,通常是各種給排水干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、地溝管槽內或直接地下埋設,特別是有上下夾層的潔凈廠(chǎng)房,給排水干管大都設在下夾層內。對于穿過(guò)潔凈室無(wú)法暗裝的給排水立管及消防栓,應盡量在凈化區墻角處敷設,并應采用彩鋼板包嵌,陰陽(yáng)角均做成圓弧角,以免積灰。為防止潔凈室外未凈化空氣滲入室內,同時(shí)也為了防止潔凈室內的潔凈空氣向外滲漏,造成能量的浪費,甚至影響室內的潔凈度,給排水管道穿過(guò)潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí),應設套管,套管內管段不得有接頭,管道和套管之間必須用不起塵的密封材料封閉。 在實(shí)在無(wú)法做套管的部位,必須采取嚴格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠、橡膠圈及環(huán)氧樹(shù)脂冷膠等。
4、衛生設備的設置
手是交叉污染的媒介,工作人員在接觸工作服之前應洗手,洗手的龍頭不應直接用手開(kāi)啟,可采用感應式或肘式洗手龍頭。 洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因為普通毛巾易產(chǎn)生纖維塵,最好的辦法是熱風(fēng)吹干,所以洗手室不但要設置洗手盆,而且還需設置烘手器。潔凈區內設置廁所不僅容易使潔凈室受到污染,還會(huì )影響潔凈區的壓力控制,所以有空氣潔凈度要求的生產(chǎn)區內不宜設廁所。 廁所宜設在盥洗室之前,且廁所應有前室,前室還應設置供人員入廁穿用的套鞋。 廁所內衛生潔具為便于沖洗,還應采用白陶瓷制品,不得用水磨石或水泥制作。
5、排水設備附件及小型排水構筑物
對于跨度較大的潔凈廠(chǎng)房,其生產(chǎn)排水橫管往往較長(cháng),超過(guò)了規范允許的最大長(cháng)度,為了清通方便,往往在排水橫管上,每隔一定距離設一清掃口,清掃口盡量設在非凈化區,如不能避免要在凈化區設置,清掃口要選用易清潔的全銅制品。 潔凈室盡量不設地漏,若工藝需要設置,亦盡量少設,且應選用材質(zhì)不易腐蝕,內表面光潔,不易結垢,有密封蓋,開(kāi)啟方便,能防止廢水廢氣倒灌的潔凈地漏。另外,為了順利收集排水,保持地面清潔,地漏的頂面標高應低于周?chē)孛?5~10mm。
為了防止通風(fēng)系統正常工作時(shí),室內潔凈空氣通過(guò)排水管向外滲漏;而當通風(fēng)系統停止工作時(shí),室外非潔凈空氣向室內倒灌,影響潔凈室的潔凈度、溫濕度,并消耗潔凈室的能量,與排水管相連的各個(gè)排水點(diǎn)均應設水封裝置,水封深度不得小于 50mm 。 這是維持潔凈室內各項技術(shù)指標的一個(gè)重要措施。為了進(jìn)一步防止這一現象的發(fā)生,同時(shí)也為防蟲(chóng)防鼠,潔凈區排水出戶(hù)管末端在接到室外檢查井之前,往往還增設水封井。
6、 循環(huán)水系統
為了保護水資源以及降低生產(chǎn)成本,用于生產(chǎn)設備的冷卻水,其使用前后,除了出水水溫有了較大的提高,水質(zhì)變化不大,經(jīng)冷卻塔降溫處理后,可重復使用。 需要指出的是,由于循環(huán)冷卻水在循環(huán)過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生蒸發(fā)、 風(fēng)吹等水量損失,造成了水的濃縮,含鹽量增加,直至沉積;以及水中微生物繁殖和塵埃懸浮物、 腐蝕剝落物及其它雜質(zhì),形成沉積物,為提高設備熱交換率及延長(cháng)設備壽命,循環(huán)冷卻水需進(jìn)行水質(zhì)處理。
二、安裝管理程序
1 無(wú)塵車(chē)間潔凈室施工管理制度
1.1 背景
1.1.1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,在施工中必須遵循行業(yè)規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。 為了保證項目的成功, 現場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。
1.1.2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠(chǎng)房?jì)鹊牡胤健?br />
1.1.3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠(chǎng)房?jì)鹊木植扛脑旌蛿U建,后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進(jìn)行管理。
1.2 責任與義務(wù)
1.2.1 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序,并且在他們疏于遵從或違反時(shí)給予培訓和訓練。 被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設規則和程序。
1.2.2 承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進(jìn)行檢查,并填寫(xiě)檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品,例如:鞋套,毛巾,墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。
1.2.3 承包商建造區域入口并對其進(jìn)行管理。他提供清洗晾曬每個(gè)入口處鞋、外套和衣服的清洗店。 他將對在潔凈區域工作的人員進(jìn)行培訓, 并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。
1.2.4 開(kāi)始階段,承包商應在每個(gè)入口處安排人員(除非半導體公司在該入口處安排有人員)以確保本規則和程序的執行。
1.2.5 重復違反規則和程序的人員將被開(kāi)除。沒(méi)有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。
三、設備安裝
凈化設備
1、風(fēng)淋室
風(fēng)淋室是現代工業(yè)潔凈廠(chǎng)房中必不可少的潔凈配套設備, 它能去除人和物表面的塵埃, 同時(shí)又對風(fēng)淋室兩側的潔凈區和非潔凈區起到了緩沖與隔離的作用。該設備廣泛應用于食品、 醫藥、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為“普通型和聯(lián)鎖型”兩類(lèi):普通型采用手動(dòng)啟動(dòng)吹淋的控制方式,個(gè)別操作者會(huì )選擇“不經(jīng)過(guò)吹淋就離開(kāi)”的逃避方式。這使得潔凈區的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會(huì )影響到產(chǎn)品質(zhì)量。潔凈室內,在動(dòng)態(tài)情況下,細菌及塵埃的最大發(fā)生源是操作者, 當操作者進(jìn)入潔凈室之前, 必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著(zhù)的塵埃顆粒
2、高效送風(fēng)口
本產(chǎn)品為萬(wàn)級,十萬(wàn)級亂流潔凈室新建,改建工程凈化空調系統終端送風(fēng)裝置??蓮V泛應用與電子工業(yè),精密機械,冶金,化工等工業(yè)及醫療,制藥,食品等部門(mén)的凈化空調系統。 本裝置主要由靜壓箱,高效過(guò)濾器,鋁合金擴散板,標準法蘭接口等組成,造型美觀(guān),結構簡(jiǎn)單,使用可靠。 本送風(fēng)口為下裝式,具有在潔凈室內安裝和更換過(guò)濾器方便的優(yōu)點(diǎn),高效過(guò)濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置,確保風(fēng)口安裝無(wú)泄露,密封可靠,凈化效果好
3、傳遞窗
傳遞窗主要適用于潔凈區與非潔凈區之間, 或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞, 可有效的減少潔凈室門(mén)的開(kāi)啟次數,把潔凈區的污染減少的最低程度。根據使用要求,傳遞窗箱體表面可噴塑,內膽可用不銹鋼,外表美。
4、潔凈工作臺
無(wú)塵車(chē)間內的潔凈工作臺可根據產(chǎn)品要求或其他用途的要求, 在操作臺上保持高潔凈度的局部?jì)艋?。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無(wú)菌、無(wú)塵的局部?jì)艋?,其主要組成部件有預過(guò)濾器、高效過(guò)濾器、風(fēng)機機組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。無(wú)塵車(chē)間的潔凈工作臺的構造要求:臺面,采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面,或采用不銹鋼做臺面; 箱體, 用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形, 可采用冷軋薄板折邊搭接, 大電流電焊,內表面需粘貼消聲材料,最大尺寸應以通過(guò)一般房門(mén)為宜;箱體密封,所有縫隙均采用密封膠密封;操作區截面應盡可能與空氣過(guò)濾器送風(fēng)截面相同,盡量減少盲區;風(fēng)機、電機, 選用高壓低噪的小型風(fēng)機,風(fēng)機與箱體的連接采用軟連接,電機及風(fēng)機均應采取減振措施; 燈罩,日光燈要盡量設置在燈罩內,燈罩內要通過(guò)潔凈氣流;預過(guò)濾器,須設置預過(guò)濾器, 容量要大,在使用風(fēng)量下,初阻力宜小于 50Pa;高效過(guò)濾器,盡量采用大面積的過(guò)濾器,減少空氣過(guò)濾器的數量,過(guò)濾器與框架之間的密封應采用封導結合的雙環(huán)密封系統。
5、FFU 風(fēng)機過(guò)濾單元
FFU 為英文縮寫(xiě),全稱(chēng)為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機濾器單元(機組)”,也稱(chēng)空氣過(guò)濾單元。 風(fēng)機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng)初、 高效過(guò)濾器過(guò)濾, 它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、 微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。 各凈化工程企業(yè)的 FFU 執行標準略有不同,業(yè)內通行的指標為:過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以 0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出,但穩定性差距很大。經(jīng)過(guò)實(shí)地檢測,國際品牌普遍難以適應“中國環(huán)境因素”, 質(zhì)量雖然普遍高于國產(chǎn)公司, 但 1 年后的穩定性測試普遍不理想; 而大部分國內低端品牌的工程質(zhì)量也較差強人意。 凈化工程行業(yè)開(kāi)始注重產(chǎn)品質(zhì)量與穩定性的雙向驗收標準, 并逐步以實(shí)地檢測數據(之前多依靠行業(yè)報告)更真實(shí)的體現工程性?xún)r(jià)比.
6、層流罩
層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設備。它主要有箱體,風(fēng)機,初效空氣過(guò)濾器,高效空氣過(guò)濾器。阻尼層,燈具等組成,箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產(chǎn)品即可以懸掛,又可地面支撐,結構緊湊,使用方便??梢詥蝹€(gè)使用,也可多個(gè)聯(lián)接組成帶狀潔凈區域。
四、安裝地面工程
地面工程
1》PVC 地板
施工工藝:
1、清理地面,清除浮沉,定位鋪設基準線(xiàn)
2、鋪拉接地倒網(wǎng)(銅箔),涂刷導電膠
3、 鋪貼 PVC 地板,滾壓 PVC 地板
4、開(kāi) 4mm 靜電接地.適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),半導體廠(chǎng),光電產(chǎn)業(yè),包裝品,機電房、汽車(chē)工業(yè)等 02 防靜電 PVC 地板 。
2》 高架地板
施工工藝:
1、在清潔的地面上劃線(xiàn)
2、支架橫梁裝配
3、調整橫梁水平、緊固螺釘
4、 鋪設活動(dòng)地板
5、 施工完畢后清掃地板表面
適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),半導體廠(chǎng),光電產(chǎn)業(yè),機電房.恒溫恒室實(shí)驗室,百級無(wú)塵車(chē)間潔凈廠(chǎng)房等
3》 環(huán)氧樹(shù)脂自流平型地流
施工工藝:
1、打磨地面.清掃、吸塵
2、涂刷封閉底涂
3、刮膩子(中涂)
4、打磨、吸塵
5、自流平面
適用場(chǎng)所: 電子廠(chǎng),電器廠(chǎng),食品廠(chǎng),化妝品廠(chǎng),包裝廠(chǎng),紡織廠(chǎng),服裝廠(chǎng)等
4》 環(huán)氧樹(shù)脂防靜電自流平型
施工工藝:
1. 基材處理:打磨并清潔地面,要求基材干燥、無(wú)空鼓;
2.底涂涂裝:導電底涂涂裝;
3. 鋪設銅箔:橫豎交叉鋪設;
4、中涂涂裝:根據所落地面厚度鑷防靜電中涂;
5、面涂涂裝:鑊圖環(huán)氛防靜電自流平面漆。
適用場(chǎng)所: 適用于通訊設備制造廠(chǎng)、芯片制造廠(chǎng)、S 下 M 車(chē)間、光學(xué)儀器廠(chǎng)、實(shí)驗室等有較高防靜電要求的潔凈廠(chǎng)房。
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