無(wú)塵潔凈室基本常識

一、無(wú)塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計建成的無(wú)塵潔凈房間。

二、無(wú)塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

三、無(wú)塵潔凈室中的三塵。無(wú)塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的最好凈化設備之一，它可以最大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區域，達到生產(chǎn)車(chē)間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

四、無(wú)塵潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵潔凈室。按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

五、每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。

無(wú)塵潔凈室的凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風(fēng)機加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細菌） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復以上過(guò)程，即可達到凈化目的。

技術(shù)參數
換氣次數：十萬(wàn)級10－15次/小時(shí)；
萬(wàn)級15－25次/小時(shí)；
千級50－52次/小時(shí);
百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；
壓差：主車(chē)間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區≥10Pa；
溫度:冬季>16℃±2℃；夏季<26℃±2℃；
新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20%－30%；

結構材料
1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專(zhuān)用的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén)，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。